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应用Ar离子束对黑磷进行层数可控的减薄研究

文章来源:乐鱼体育平台         发布时间:2021-09-05 01:05

本文摘要:Blackphosphorus(BP,黑磷)是纳米技术电子元器件运用于中最不会受到瞩目的2D(二维)层状原材料之一,其特有的特性还包含,依据其叠加层数而转变的频段隙动能,伴随着叠加层数的提升,转变范畴可从0.3eV(块材)到2.0eV(单面)。一般来说,还包含BP以内的2D层状原材料在制取层面,因为時间、溫度等加工工艺要素,都具有一定的局限,BP在气体中不稳定,因而,其从块材原材料到3D层状原材料的生产加工,务必应用一定的减薄技术性来操控减薄的薄厚。

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Blackphosphorus(BP,黑磷)是纳米技术电子元器件运用于中最不会受到瞩目的2D(二维)层状原材料之一,其特有的特性还包含,依据其叠加层数而转变的频段隙动能,伴随着叠加层数的提升,转变范畴可从0.3eV(块材)到2.0eV(单面)。一般来说,还包含BP以内的2D层状原材料在制取层面,因为時间、溫度等加工工艺要素,都具有一定的局限,BP在气体中不稳定,因而,其从块材原材料到3D层状原材料的生产加工,务必应用一定的减薄技术性来操控减薄的薄厚。据麦姆斯资询报道,日本成均馆大学(SungkyunkwanUniversity)技术设备管理科学与工程学校的JinWooPark等科学研究工作人员,应用了一种操控Ar (氩正离子)离子束计划方案,进行了BP层操控减薄科学研究。

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根据应用45–48eV的近乎单能正离子动能的Ar 离子束,BP能够以大概0.55nm/min的速率减薄至两层BP,而且会引起表面硬实,或变化表面的离子键情况。另外,Ar 离子束还能去除原材料BP上的BP金属氧化物。

运用减薄的两层~10层BP生产制造的2DBP场效晶体三极管(FET),呈现了与这些详细BP场效晶体三极管相仿的电力学特性。试验结果显示单能正离子动能的Ar 离子束减薄加工工艺,未损害3D层状BP原材料的电力学特性。该科研成果公布发布于17年10月16日发刊的《JournalofMaterialsChemistryC》。

北京市埃德万斯离子束研究室股权有限责任公司自我约束产品研发的AdvancedLKJ系列产品离子束光刻系统软件,为规范化离子束光刻系统软件,除开可进行传统式微结构构造光刻外,还可完成离子束消除、原材料表面打磨抛光和原材料减薄等作用,还可完成有机化学輔助离子束光刻(CAIBE)与反映离子束光刻(RIBE)。


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